RGTS
Robot Gap & Teaching Measurement System
For 300mm wafer
이송 로봇의 위치 정밀도 측정 장비
Foup 안의 wafer를 기준으로 Robot EE와의 실시간 level, 거리 측정
비젼 분석을 통한 로봇 Teaching reference
- Key Features
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1. 레이저 변위 센서로 로봇 EE와 Wafer 사이의 거리 측정 * 로봇 EE = Edge grip type
2. 비젼 분석을 통한 로봇 EE의 STOPER와 wafer 사이의 Gap 측정 * 로봇 EE = Edge grip type
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Wafer pick up 시점에서 Robot EE의 하단 촬영 및 이미지 분석
3. RGTS 사용해야 하는 이유
기존방식 문제점
Human error 로 인한 안전 사고 발생 위험 높음
숙련된 Robot 전문가만 로봇 상태 점검 가능
육안 검사 방식으로 정확한 측정 불가, 측정 수치 신뢰성 저하
최소 1 시간 이상의 Tool down 시간
RGTS 장점
Safety : 로봇 점검을 위해 장비 내부로 사람이 들어갈 필요 없음
Easy : 장비 운영 담당자 누구나 쉽게 측정 가능, 로봇에 대한 비 전문가도 측정 가능, Manual robot 제어 불 필요
Fast : 기존 로봇 점검 시간 대비 1/10 로 시간 단축, Tool down time 감소 (기존 100 분 -> 10 분), 기존 100 분 시간 : 환경안전작업 승인을 위한 서류 작업 시간 비 포함 조건
Accuracy : 레이저 변위 센서,카메라의 2차원/3차원 정밀도 측정, 0.01 단위(mm)로 제공, 오차 < 0.3 mm
Cost-effectiveness : RGTS 하나로 여러 로봇 동시 사용 가능
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1
신속한 측정
10분 이내 한번의 웨이퍼
픽업 동작으로 분석완료 -
2
정확한 측정
고해상도 측정으로 정확도, 정밀도 향상 이미지 : 1280 x 960, 레이저 센서 : 0.01mm
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3
누구나 사용가능
숙련된 전문가가 아니어도
누구나 쉽게 사용가능
