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SORTER / EFEM
SWAT3200_2IO 12inch
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- 主な機能
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Fabと装備の効率性を向上
頑強さと信頼性
素早く簡単なインストールとメンテナンス
SEMI全面遵守、SEMI S2認証
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簡素化による総所有コスト改善
優れたFOUPとAMHSの相互運用性
共通の構成要素を持つ拡張可能なアーキテクチャ
作業者の相互作用改善のための直観的GUI
便利なサービスとメンテナンス性
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先進の装備性能
コンパクトな局所的環境による清浄度サブクラス1の性能
真空ウエハーハンドリングで粒子とウエハーの損傷を保護
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Fabと装備の効率性を向上
- 外形寸法
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重量 幅 奥行 高さ 420kg 1,220 1,200 1,770
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SORTER / EFEM
SWAT3200_2IO 8inch
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- 主な機能
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Fabと装備の効率性を向上
頑強さと信頼性
く簡単なインストールとメンテナンス
SEMI全面遵守、SEMI S2認証
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簡素化による総所有コスト改善
優れたFOUPとAMHSの相互運用性
共通の構成要素を持つ拡張可能なアーキテクチャ
作業者の相互作用改善のための直観的GUI
便利なサービスとメンテナンス性
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先進の装備性能
コンパクトな局所的環境による清浄度サブクラス1の性能
真空ウエハーハンドリングで粒子とウエハーの損傷を保護
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Fabと装備の効率性を向上
- 外形寸法
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重量 幅 奥行 高さ 420kg 1,220 1,200 1,770
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SORTER / EFEM
SWAT3200_2x2 12inch
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- 主な機能
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Fabと装備の効率性を向上
頑強さと信頼性
く簡単なインストールとメンテナンスn
SEMI全面遵守、SEMI S2認証
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簡素化による総所有コスト改善
優れたFOUPとAMHSの相互運用性
共通の構成要素を持つ拡張可能なアーキテクチャ
作業者の相互作用改善のための直観的GUI
便利なサービスとメンテナンス性
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先進の装備性能
コンパクトな局所的環境による清浄度サブクラス1の性能
真空ウエハーハンドリングで粒子とウエハーの損傷を保護
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Fabと装備の効率性を向上
- 外形寸法
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重量 幅 奥行 高さ 520kg 1,280 1,710 1,770