ビジョンシステムを利用したマスク上下面の位置確認

誤配置マスクのローディングを防ぐインターロック機能

素早く正確な検査

マスクポッドオープン時のマスク検査

10インチタッチモニタによる簡単なユーザーインターフェース

ポッドオープナーのメンテナンス向上