SEMI全面遵守、SEMI S2認証

GEM/SECSプロトコルによるホスト通人

統合RFIDとE84 OHTハンドオフ

二重安全装置を適用 / ライトカーテンと自動アップダウンドア

2ポートタイプ：入力ポート 1個、出力ポート 1個 / 入力ポート 2個 / 出力ポート 2個

キャリータイプ：SEMI遵守FOUP、自動FOSB