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ASYST & BROOKS

    ROBOT

      1. メーカー ASYST
      2. モデル Spartan Wafer engine
      3. OEM Mattson Suprema Nova VeraflexII, ASML
        YieldStar S-100, KLA MicroRSP-A300
      1. メーカー ASYST
      2. モデル AXYS 21
      3. OEM GSI Sigmaclean 300
      1. メーカー Brooks Automation
      2. モデル Magnatran 7
      3. OEM LAM, Novellus, Jusung IPS, Eugenetech,
        Canon-Anelva, etc.
      1. メーカー Brooks Automation
      2. モデル Magnatran 8
      3. OEM Novellus, AMEC, Veeco, Aixtron,
        Sosul, TES, Eugenetech, ATTO, etc.
      1. メーカー Brooks Automation
      2. モデル Relience 3 axis
      3. OEM Novellus, IPS, Aixtron, Jusung,
        Eugenetech, Nanometrics, etc.
      1. メーカー Brooks Automation
      2. モデル Relience 4 axis
      3. OEM Lam, HKE, KLA-Tencor, etc.
      1. メーカー Brooks Automation
      2. モデル Razor
      3. OEM TES, SOSUL