ASYST & BROOKS
ROBOT
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メーカー
ASYST
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モデル
Spartan Wafer engine
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OEM
Mattson Suprema Nova VeraflexII, ASML
YieldStar S-100, KLA MicroRSP-A300
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メーカー
ASYST
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モデル
AXYS 21
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OEM
GSI Sigmaclean 300
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メーカー
Brooks Automation
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モデル
Magnatran 7
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OEM
LAM, Novellus, Jusung IPS, Eugenetech,
Canon-Anelva, etc.
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メーカー
Brooks Automation
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モデル
Magnatran 8
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OEM
Novellus, AMEC, Veeco, Aixtron,
Sosul, TES, Eugenetech, ATTO, etc.
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メーカー
Brooks Automation
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モデル
Relience 3 axis
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OEM
Novellus, IPS, Aixtron, Jusung,
Eugenetech, Nanometrics, etc.
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メーカー
Brooks Automation
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モデル
Relience 4 axis
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OEM
Lam, HKE, KLA-Tencor, etc.
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メーカー
Brooks Automation
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モデル
Razor
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OEM
TES, SOSUL