ASYST Sorter/EFEM

 

개요: Wafer sorting 설비

특징:

FAB생산성 향상 & 장비 효율성

오류 및 에러 방지 & 신뢰성

쉽고 빠른 설치와 유지보수

뛰어난 FOUP & AMHS 상호운용성

공통 구성요소에 대한 확장 가능 아키텍처

Operator와의 상호작용을 위한 직관적인 GUI

완벽한 SEMI 준수

쉬운 서비스와 유지보수로 인한 향상된 장비 퍼포먼스

빠르고 효율적인 엣지 접촉 에이퍼 핸들링

완전한 SEC/GEM 컨트롤 및 호스트 통합